產品名稱：ANDOR sCMOS 相機Marana-X

產品型號：Marana-X

產品介紹

 

Marana-X 是 Andor 為直接 EUV 和軟 X 射線應用量身定制的開創性 sCMOS 平臺。手工打造，提供好的性能和多功能性 Marana-X 在不到 50 毫秒的時間內讀取 4.2 兆像素高分辨率陣列，同時保持低的讀取噪聲；比類似分辨率的 CCD 探測器快數百倍。

與現有的 CCD 相比，新型 Marana-X sCMOS 在 EUV-1 keV 能量范圍內具有更高的量子效率。 Marana-X 、的量子效率與其CMOS 技術相得益彰，可通過 74 fps 全幀快速實現實驗時間的更小化和更大的數據吞吐量。

 

性能特點

 

l 高達 99% 的 QE 和低噪聲：適合光不足測量的max信噪比。 更快地實現高對比度。

l 真空冷卻至 -45℃：非常微弱的信號需要更低的本底噪聲和更長的曝光時間：不要受到相機熱噪聲的限制

l 4.2 百萬像素：高像素分辨率，在擴展視野范圍內保持圖像清晰度。

l 未鍍膜的背照式 sCMOS：Marana-X 采用了無涂層背照式 sCMOS 傳感器，可實現EUV - 軟 X 射線檢測。

l 擴展動態范圍 (EDR) 模式：在整個動態范圍內“一次定量”，在同一圖像中捕獲高強度和低強度圖像。

l 99.7% 線性度：在整個信號范圍內的定量精度。

l 標配風扇和液體冷卻：液體冷卻可實現更大靈敏度

 

選型指南

可選功能與配件

技術參數

 

傳感器類型：背照式科學 CMOS

陣列尺寸：2048 (W) x 2048 (H)

4.2 百萬像素

像素尺寸：6.5 x 6.5 μm

圖像區：13.3 毫米 x 13.3 毫米

（對角線 18.8 毫米）

讀出模式：滾動快門

像素讀出率： 310 MHz（快速高動態范圍模式，16 位）

180 MHz（低噪聲模式，12 位）

 量子效率：高達 99%

讀取噪聲 (e-) 中值：1.6 e-（快速高動態范圍模式，16 位）

1.2 電子-（低噪聲模式，12 位）

傳感器工作溫度

風冷：-25°C（max.30°C 環境溫度）

水冷/液冷：-45°C（@16°C 水）

暗電流

風冷 (@-25°C) ：0.15 e-/像素

水冷/液冷 (@ -45°C) ：0.10 e-/像素

有效區域像素井深度：

55 000 e-（快速高動態范圍模式，16 位）

1800 e-（低噪聲模式，12 位，位深度受限）

動態范圍：34 000:1（快速高動態范圍模式，16 位）

數據范圍：16 位（快速高動態范圍模式）

12 位（低噪聲模式）

線性：> 99.7%

PRNU：< 0.5% (@半光范圍)

感興趣區域 (ROI) ：用戶可定義，1 像素粒度，

Min.尺寸 9（寬）x 1（高）

預定義 ROI：1608 x 1608、1200 x 1200、1024×1024、512×512、128×128

像素合并（在 FPGA 上）：2 x 2、3 x 3、4 x 4、8 x 8（也提供用戶可定義的合并）

真空兼容性：>10^-8 mbar

I/O

O：Fire Row 1, Fire Row n, Fire All, Fire Any, Arm

I：外部

觸發模式：內部、外部、外部啟動、外部曝光、軟件

軟件曝光事件：開始曝光 - 結束曝光（第 1 行），開始曝光 - 結束曝光（第 n 行）

圖像時間戳精度： 25 ns

PC 接口：USB 3.0和 CoaXPress

安裝法蘭：DN100CF (ConFlat) 6” O.D.固定法蘭提供 M8 或 5/16 UNC 螺紋孔

 

產品尺寸

產品應用

 

原位射線照相

斷層掃描

光譜學

高光譜成像

HHG 源表征

EUV 投影儀

EUV 光刻

 

上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術詢問，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。為緊跟工業科技發展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產品集散帶來的二度成本優勢。

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